光電素子 EE-SPY802 2M-政順電機

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數量	標準單價
1 ~	詢價

• 與導軌併用，設定底座位置
• 與晶圓載具的接觸面使用氟樹脂，耐藥品性能優異
• 採特有的光學系統，可安定檢測大部份的晶圓載具
• 可對抗環境光源的變調光方式
• 採用無塵纜線（無滑石粉）

■本體

項目	型號	EE- SPY801/802
檢測距離（標準檢測物體）		0～5mm （反射率90％白色紙15×15mm2） 0～3mm （反射率10％黑色紙15×15mm2）
檢測物體		晶圓載具（透明體、不透明體）
動作指示燈		物體檢測時亮燈（橙色）
光源（峰值發光波長）		GaAs 紅外線發光二極體（940nm）
電源電壓		DC12～24V±10％漣波（p-p） 5％以下
消耗電流		30mA以下
控制輸出		NPN開集極式輸出、DC5～24V、100mA以下、OFF電流0.5mA以下殘留電壓：0.8V以下（負載電流100mA時）殘留電壓：0.4V以下（負載電流40mA時）
應答時間		5ms以下
使用環境照度		受光面照度白熾燈、太陽光：各3,000lx以下
環境溫度範圍		動作時：－10～＋55℃ 保存時：－25～＋65℃ （不結冰）
環境濕度範圍		動作時：5～85％RH 保存時：5～95％RH （不結露）
振動（耐久性）		1～500Hz 單側振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3掃描、11min/掃描
衝擊（耐久性）		500m/s² X、Y、Z各方向 3次
保護構造		IEC規格　IP30
連接方式		出線型（標準導線長2m）
重量（包裝狀態）		本體（感測器）：約43g、選購品（導軌）：約9g
材質	外殼	四氟乙烯－乙烯共聚合體（ETFE）
	底板	polybutylene terephthalate
附屬品		使用說明書

光電素子 EE-SPY802 2M