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| 廠牌 | OMRON歐姆龍 |
|---|---|
| 輸出方式 | NPN 無負重時OFF |
| 檢測距離 | 1m |
| 電壓 | DC12V, DC24V |
| 出線方式 | 出線型(耐繞曲線長1M) |
| 產品認證 | IP40 |
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父分類名稱 ![OMRON EE-SA701 / 801]( "OMRON EE-SA701 / 801")
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OMRON EE-SA701 / 801
父分類連結
父分類簡述 父分類簡述(下方) 父分類內容 父分類標籤 光電素子 EE-SA701-R 1M
晶圓載具的底座檢測
特點
• 與導軌併用，設定底座位置• 與晶圓載具的接觸面使用氟樹脂，耐藥品性能優異
• 採特有的光學系統，可安定檢測大部份的晶圓載具
• 可對抗環境光源的變調光方式
• 採用無塵纜線 （無滑石粉）
種類
■本體| 檢測方式 | 檢測距離 | 動作模態 | 導線長度 | 型號 |
| 反射型 | 0~3mm | 有晶圓載具時ON | 2m | EE-SPY801 2M |
| EE-SPY802 2M |
額定/性能
| 項目 | 型號 | EE- SPY801/802 |
| 檢測距離 （標準檢測物體） | 0～5mm （反射率90％ 白色紙15×15mm2） 0～3mm （反射率10％ 黑色紙15×15mm2） | |
| 檢測物體 | 晶圓載具 （透明體、不透明體） | |
| 動作指示燈 | 物體檢測時亮燈 （橙色） | |
| 光源 （峰值發光波長） | GaAs 紅外線發光二極體 （940nm） | |
| 電源電壓 | DC12～24V±10％ 漣波 （p-p） 5％以下 | |
| 消耗電流 | 30mA以下 | |
| 控制輸出 | NPN開集極式輸出、DC5～24V、100mA以下、OFF電流0.5mA以下 殘留電壓：0.8V以下 （負載電流100mA時） 殘留電壓：0.4V以下 （負載電流40mA時） | |
| 應答時間 | 5ms以下 | |
| 使用環境照度 | 受光面照度 白熾燈、太陽光：各3,000lx以下 | |
| 環境溫度範圍 | 動作時：－10～＋55℃ 保存時：－25～＋65℃ （不結冰） | |
| 環境濕度範圍 | 動作時：5～85％RH 保存時：5～95％RH （不結露） | |
| 振動 （耐久性） | 1～500Hz 單側振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3掃描、11min/掃描 | |
| 衝擊 （耐久性） | 500m/s² X、Y、Z各方向 3次 | |
| 保護構造 | IEC規格 IP30 | |
| 連接方式 | 出線型 （標準導線長2m） | |
| 重量（包裝狀態） | 本體 （感測器）：約43g、選購品 （導軌）：約9g | |
| 材質 | 外殼 | 四氟乙烯－乙烯共聚合體 （ETFE） |
| 底板 | polybutylene terephthalate | |
| 附屬品 | 使用說明書 | |
